ICP是電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀。根據(jù)檢測器的不同分為ICP—OES（電感耦合等離子發(fā)射光譜儀，也稱ICP-AES）和ICP-MS（電感耦合等離子質(zhì)譜儀）。兩者均能測元素周期表中的絕大部分元素，但能測得元素稍微有異，檢測能力上后者要比前者高。因為ICP光源具有良好的原子化、激發(fā)和電離能力，所以它具有很好的檢出限。對于多數(shù)元素，其檢出限一般為0.1～100ng/ml，可以同時測試多種元素，靈敏度高，檢測限低，測試范圍寬（低含量成分和高含量成分能夠同時測試）。
　　ICP-6800（電感耦合等離子體原子發(fā)射譜儀），它基于物質(zhì)在高頻電磁場所形成的高溫等離子體中有良好的特征譜線發(fā)射,再以半導體檢測器檢測這些光譜能量，參照同時測定的標準溶液計算出試液中待測元素的含量.ICP-AES測試的有效波長范圍是120-800 nm，因為原子發(fā)射光譜的所有相關(guān)信息都集中在這個范圍內(nèi)。其中，120-160 nm波段尤其適用于分析鹵素或者某些特殊應用的替代譜線。
　　注：測試的有效波長范圍跟儀器當然也直接相關(guān)，有些儀器只能測160 nm以上的波段。一般情況下，ICP-AES測試的都是液體樣品，因此測試時需要將樣品溶解在特定的溶劑中（一般就是水溶液）；測試的樣品必須保證澄清，顆粒、懸濁物有可能堵塞內(nèi)室接口或者通道；溶液樣品中不能含有對儀器有損壞的成分（如HF和強堿等）。由于現(xiàn)在ICP發(fā)射光譜技術(shù)用到了越來越多的離子線，“原子發(fā)射光譜儀”已經(jīng)不是那么科學，所以現(xiàn)在都叫OES了。
　　ICP—OES可同時分析常量和痕量組分，無需繁復的雙向觀測，還能同時讀出、無任何譜線缺失的全譜、直讀等離子體發(fā)射光譜儀，具有檢出限極低、重現(xiàn)性好，分析元素多等顯著特點，ICP-OES大部份元素的檢出限為1～10ppb，一些元素也可得到亞ppb級的檢出限。ICP-OES的檢測元素如下圖：

　　ICP-MS電感耦合等離子體質(zhì)譜儀以質(zhì)譜儀作為檢測器，通過將樣品轉(zhuǎn)化為運動的氣態(tài)離子并按質(zhì)荷比（M/Z）大小進行分離并記錄其信息來分析。若其所得結(jié)果以圖譜表達，即所謂的質(zhì)譜圖。ICP-MS的進樣部分及等離子體和ICP-AES的是極其相似的。但ICP-MS測量的是離子質(zhì)譜，提供在3～250amu范圍內(nèi)每一個原子質(zhì)量單位（amu）的信息。還可進行同位素測定。
　　ICP-MS具有極低的檢出限，其溶液的檢出限大部份為ppt級，石墨爐AAS的檢出限為亞ppb級，但由于ICP-MS的耐鹽量較差，ICP-MS的檢出限實際上會變差多達50倍，一些輕元素（如S、Ca、Fe、K、Se）在ICP-MS中有嚴重的干擾，其實際檢出限也很差。ICP-MS的檢測元素和檢測極限如下圖：

　　整體來說，ICP-OES和ICP-MS可分析的元素基本一致，不過由于分析檢測系統(tǒng)的差異，兩者的檢測限有差異：ICP-MS的檢測限很低，最好的可以達到ng/L（ppt）的水平；而ICP-AES一般是ug/L（ppb）的級別。不過ICP-MS只能分析固體溶解量為0.2%左右的溶液（因此經(jīng)常需要稀釋），而ICP-AES則可以分析固體溶解量超過20%的溶液。